根據臺積電4月3日晚間發布的最新評估，該公司表示，雖然部分廠區的少數設備受損并影響部分產線生產，但主要機臺包含所有極紫外（EUV）光刻設備皆無受損。在地震發生后10小時內，晶圓廠設備的復原率已超過70%，新建的晶圓廠（如晶圓十八廠）的復原率更已超過80％。臺積電目前正與客戶保持密切溝通，將繼續密切監控并適時與客戶直接溝通相關影響。

         據界面快訊4月3日發文，根據TrendForce第一時間調查各廠受損及運作狀況，DRAM、代工等行業各廠已陸續進行停機檢查，目前各廠沒有發現重大機臺損害。產線破片和爐管破損都在統計中，估計廠商后續皆能透過趕工將產能補回，基本上無重大災情發生。英偉達芯片采用的4nm制程都在臺積電南科生產，盡管該廠人員未進行疏散，但有部分機臺需停機檢查，預估經調校后能盡速恢復運作，影響可控。

        另據鈦媒體App4月3日發文，此次地震對各大臺半導體工廠造成了一定影響，主要包括新竹地區的各大晶圓廠、封測廠和LED面板廠，臺積電、聯電、友達、旺宏及力積電等企業的廠內人員也在地震發生時疏散，部分機臺預防性停機。